SurfScan平面度测量仪，采用掠入射光干涉原理，专注于高精密加工表面平面度快速测量评估, 广泛应用于半导体行业（Wafers）、LCD掩膜（Photomask）、玻璃（Glass）、泵、阀门密封件表面（Sealing surfaces），以及光学工程，激光工程等领域。