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平面度测量仪
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SurfScan平面度测量仪,采用掠入射光干涉原理,专注于高精密加工表面平面度快速测量评估, 广泛应用于半导体行业(Wafers)、LCD掩膜(Photomask)、玻璃(Glass)、泵、阀门密封件表面(Sealing surfaces),以及光学工程,激光工程等领域。
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