平面度测量仪是机床校正检测的有效的系统

　　平面度测量仪是机床校正检测的有效的系统，适用于3-5轴加工中心几何精度的测量和修正。在正常情况下，只要一次安装，就可对大多数加工中心的机械轴进行平面度、直线度、平行度和垂直度的测量。1-743超高精度激光几何精度检测仪带有三个相互垂直并且连续旋转的激光面，360°度扫描时激光面间的垂直精度为1角秒（0.005mm/M），平面精度为1/2角秒（0.0025mm/M），90°扫描时，平面精度为1/4角秒。还带有1角秒精度的水准仪和俯仰角、滚动角和偏摆角可调的磁性基座，用来设定激光面使其平行于参考点。由于系统是实时动态测量，因此对于几何量的调整和校准特别实用。
 

　　平面度测量仪的使用方法：

　　根据光学等倾干涉原理，单色光通过光学平晶后会发生干涉，在待测面形成明暗相间的条纹图案，这些条纹我们也称之为光带。根据光带的数量和单色光波长，可以通过公式大致测算光学平晶与待测面间空气隙的厚度，即平面度。

　　平面度的计算公式：

　　&=nx0.3微米

　　&为平面度误差

　　n为光带数量

　　光带数量可以通过以下方法确定：对于圆弧形光带，用一条虚拟直线与曲率的一条圆弧相切，则条纹图案中，为此直线与之相交的圆弧的数量就是公式中所指光带数量；对于圆形光带，通过圆中心做任意一条虚拟半径线，与之相交圆的数量就是公式中所指光带的数量
 

　　平面度测量仪主要由钠光灯、平板玻璃、箱体机构、主要附件为光学平行平晶。单色光检测仪能发出波长为0.589微米的单色平行光，与光学平晶配合使用，通过等倾干涉法检测零件平面度。