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量块比较仪是比较测量量块长度的计量仪器

发表时间:2021-11-15  |  点击率:186
  量块比较仪是比较测量量块长度的计量仪器。量块采用垂直安放方式。一般由机械主体、1只或2只位移传感器、显示器、控制器等组成。通过位移传感器与量块上下测量面接触(或只与上测量面接触,下测量面与固定点接触)时发生的位移变化,可以对标准量块和被测量块的长度差值进行测量。根据位移传感器的不同,分为电感式、光栅式、激光式等多种类型。
  标准量块长度差值的测量方法及不确定度评定
  A.1标准量块长度差值的测量方法
  使用量块光波干涉仪进行量块长度差的测量。
  使用的待测量块的中心区域的条纹应无明显的倾斜或弯曲,或者在量块中心区域的接触测量的示值变化小于0.01um。
  将2块待测量块分别研合在2块平晶上,放在同1台量块光波干涉仪先后测量其长度。然后将2块待测量块交换再研合在同样的2块平晶上,再放在同1台量块光波干涉仪先后测量其长度。为了减小测量不确定度的影响,也可以使用1块平晶同时研合2块待测量块进行测量,然后2块量块交换位置重新研合测量。取2次量块长度测量结果的差值的平均值作为测量结果。研合量块时应将测量环境的相对湿度控制在40%以上,且全部研合期间湿度变化小于5%。整个研合工作由同一名检定员进行,该检定员研合量块的研合层厚度重复性需验证,实验标准差5≤3nm。
  A.2标准量块长度差值的测量不确定度评定使用量块光波干涉仪测量一对量块的长度差方法如A.1所述。使用量块光波干涉仪直接测量量块长度时的测量不确定度各个影响量及各个标准不确定度分量情况,量块绝对长度时的测量不确定度的典型情况。
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